真空熱壓爐是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具，在5噸壓力下可鍵合多層基片。爐子可以加熱到1100℃并且30段程序控溫。帶水冷的法蘭可使真空度達到10-5Torr（用分子泵）。真空熱壓爐廣泛應用于硬質合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結。
真空熱壓爐主要由爐體、爐門、加熱與保溫及測溫系統、真空系統、充氣系統、水冷系統、控制系統、液壓系統等組成。真空熱壓爐為周期作業式，廣泛應用于硬質合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結。
爐體為立式爐殼，其內層為不銹鋼制成的圓筒，外層為碳鋼。爐體分為兩部分，其中三分之一為爐蓋可手動*側開門，三分之二部分為固定爐體，設計*，便于操作。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走，使爐壁溫度不超過60℃，其上下法蘭焊接為一個整體。中間開有紅外測溫孔（有保護氣氛通氣口），熱電偶測溫孔、抽氣孔及觀察孔，鉑銠熱電偶有到溫自動退出裝置，紅外測溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置，操作人員使用的觀察孔設有擋板。
真空系統：由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥（防止因突然停電、機械泵油倒灌）充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表（±Pa）波紋管、真空管路和支架等組成。
液壓系統：采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺（測距精度0.02mm）、液壓缸等相關液壓裝置，壓力調節半自動化、可通過手動調節。儀表可設定自動調節壓力，并能實現穩壓、保壓。
水冷系統：由各種閥管道相關裝置組成且設有斷水聲光報警自動切斷加熱源或功能。
溫控系統：采用可控硅控溫，配置有PID功能儀表，數顯表，具有超溫聲光報警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數據，便于分析燒結過程。
充氣系統：由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當爐內壓力高于安全值時會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量
