SPS壓力燒結(jié)爐，全稱(chēng)為放電等離子燒結(jié)爐（Spark Plasma Sintering Furnace），是一種先進(jìn)的材料制備技術(shù)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、材料科學(xué)、航空航天等領(lǐng)域。是利用脈沖電流通過(guò)粉末顆粒時(shí)產(chǎn)生的放電等離子體，實(shí)現(xiàn)材料的快速燒結(jié)。當(dāng)脈沖電流通過(guò)粉末顆粒時(shí)，顆粒之間的氣隙會(huì)發(fā)生電火花放電，產(chǎn)生高溫等離子體。這些等離子體中的活性粒子具有高的能量，能夠促進(jìn)粉末顆粒表面的氧化膜分解，提高粉末表面的活性，并促進(jìn)顆粒間的接觸和粘結(jié)。在放電等離子體的高溫作用下，粉末顆粒表面迅速升溫，達(dá)到燒結(jié)溫度，進(jìn)而在外部壓力的作用下形成緊密的燒結(jié)體。
1、實(shí)驗(yàn)前準(zhǔn)備
安全確認(rèn)：穿戴PPE，佩戴耐高溫手套、防護(hù)眼鏡、實(shí)驗(yàn)服。
環(huán)境檢查：確保設(shè)備周?chē)鸁o(wú)雜物，通風(fēng)良好，冷卻水、壓縮空氣、電源供應(yīng)正常。
設(shè)備狀態(tài)：確認(rèn)爐體冷卻至室溫，真空系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)無(wú)泄漏。
樣品與模具準(zhǔn)備：選擇合適尺寸的石墨模具，清潔模具內(nèi)壁、上下沖頭、墊塊，去除油污和雜質(zhì)，晾干或烘干。將粉末樣品均勻裝入模具內(nèi)腔，放入下沖頭，必要時(shí)加入石墨墊塊，確保模具組件正確組裝，無(wú)歪斜。
設(shè)備檢查：檢查冷卻水流量、溫度是否正常，水溫<25°C，流量符合要求；檢查液壓油位是否正常；檢查真空泵油位和顏色，如有必要進(jìn)行更換；確認(rèn)所有安全聯(lián)鎖裝置功能正常。
2、裝爐與密封
裝入模具：將組裝好的模具小心放入爐膛內(nèi)，確保其位于上下壓頭的中心位置，調(diào)整位置，避免模具與爐壁或電極發(fā)生摩擦。
關(guān)閉爐門(mén)：緩慢、平穩(wěn)地關(guān)閉爐門(mén)，手動(dòng)或自動(dòng)鎖緊爐門(mén)密封裝置，確保真空密封良好。
3、抽真空與氣氛置換
啟動(dòng)真空系統(tǒng)：開(kāi)啟機(jī)械泵，對(duì)爐腔進(jìn)行粗抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到一定水平（如<10 Pa），根據(jù)設(shè)備配置，可能需要開(kāi)啟分子泵或擴(kuò)散泵進(jìn)行高真空抽氣。
真空度檢查：觀察真空計(jì)讀數(shù)，確認(rèn)真空度能達(dá)到工藝要求（通常<10?¹Pa或更高）。保持高真空一段時(shí)間，檢查有無(wú)漏氣（真空度是否穩(wěn)定）。
氣氛置換：如果工藝要求在惰性氣氛下燒結(jié)，先將腔體抽至高真空，向腔體內(nèi)充入高純惰性氣體至接近常壓，再次抽真空，重復(fù)此過(guò)程23次，以最大限度去除氧氣和水分，最后一次充入惰性氣體至工藝壓力（常為微正壓）。
4、燒結(jié)過(guò)程
升溫：根據(jù)材料特性設(shè)定升溫速率和目標(biāo)溫度，一般分為三個(gè)階段，準(zhǔn)備階段從室溫到600℃左右，升溫速率較為緩慢；快速升溫階段調(diào)快升溫速率；待接近燒結(jié)溫度前，升溫速率調(diào)慢。
保溫：到達(dá)目標(biāo)溫度后，開(kāi)始計(jì)時(shí)保溫，保溫時(shí)間根據(jù)樣品大小、材料種類(lèi)等因素確定。
加壓：對(duì)于SPS燒結(jié)，需同步調(diào)控脈沖電流與壓力，一般在材料達(dá)到燒結(jié)起始溫度后再逐步加壓至所需壓力。
5、冷卻與出爐
冷卻：燒結(jié)完成后，按照設(shè)定的冷卻程序進(jìn)行冷卻，可采用自然冷卻或強(qiáng)制冷卻等方式。
出爐：當(dāng)爐溫降至安全溫度后，打開(kāi)爐門(mén)，取出模具和樣品。
